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設(shè)備名稱 手動(dòng)勻膠機(jī)  品牌型號(hào) WS400BZ

設(shè)備用途
通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)的電機(jī)帶動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)，結(jié)合手動(dòng)滴膠，將光刻膠均勻的涂覆到晶圓上。

主要技術(shù)指標(biāo)：
可用晶圓尺寸：2inch 3inch 4inch圓和≥1cm2碎片
最大轉(zhuǎn)速：8000rpm

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