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設(shè)備名稱：自動紫外光刻機(jī) 品牌型號 SUSS MA6
設(shè)備用途
光刻機(jī)發(fā)出的紫外光通過具有特定圖形結(jié)構(gòu)的掩膜版對樣片曝光，然后通過顯影將掩膜版上的圖形結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到樣片表面的光刻膠上。
主要技術(shù)指標(biāo)：
可選波長：365nm 405nm 436nm
可加工尺寸：2inch 3inch 4inch晶圓和≥1cm2碎片
極限分辨率：0.8um
正面套刻精度：≤0.25um
曝光穩(wěn)定性：±1%
曝光模式：真空接觸、硬接觸、軟接觸和泛曝光
